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流量计(822S(0-100sccm))
产品概述:
822S流量计是一款高精度的气体质量流量计,针对0—100sccm范围内的气体精确测量而设计,表体采用316不锈钢材料,适用于各种清洁气体包括腐蚀气体,铂金传感器消除零飘保证了长期稳定性,是气体流量测量的理想设备。
产品特性
1.直接质量流量测量,无需温度、压力补偿;
2.高精度;
3.铂金传感器长期稳定性高; 
技术参数
1.流量测量范围:0—100sccm;;
2.流量测量精度:±1.5%FS.